气浮平台

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BJSM气浮导轨直线电机平台

气浮导轨直线电机平台采用高精密气浮导轨作为运动导向,运动系统无摩擦阻尼,大大提高系统运行精度。 系统采用直线电机驱动,高精密光栅尺或激光尺反馈。平台系统整体采用花岗岩结构。系统应用:激光加工,精密微纳加工、精密测试测量,液晶面板加工、检测,Wafer加工检测等。

 

技术指标:

  • XY轴设计行程500*500mm
  • 平台的重复定位精度:±0.1-0.5微米,定位精度± 1um
  • 运行速度500mm/s
  • 加速度2G(无负载情况)
  • 精密气浮导轨
  • 高精密光栅尺反馈