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MicroE高真空编码器
Celeramotion公司MicroE高真空编码器将高性能、小尺寸和高真空额定值相结合,应用范围广泛。所有型号均使用高达10-8托的真空兼容材料构造。MicroE的广泛对准公差,编码器更易于对齐、更易于使用或集成到您的设计中。
Mercury Series
Mercury系列真空编码器将高性能、小尺寸和高真空额定值相结合,应用范围非常广泛。 选择具有数字或模拟输出的型号,所有型号均使用高达10-8托的真空兼容材料构造。
型号: M1000V
直线:分辨率从5微米至78纳米不等,精度达+/-1微米/米
旋转:分辨率从2,500到4,200,000 CPR不等,精度达+/-2.1弧秒
接口:1Vpp模拟接口(带零位)
真空度:额定真空度为10-8托
型号: M1500V
直线:分辨率从5微米至0.5微米不等,精度达+/-1微米/米/
旋转:分辨率从6,600到655,000 CPR不等, 精度达+/-2.1弧秒
接口:A-quad-B数字接口(带零位)
真空度:额定真空度为10-8托
直线:分辨率从5微米至1.22纳米不等,精度达+/-1微米/米。
旋转:分辨率从20,000到268M CPR不等,精度达+/-2.1弧秒
接口:A-quad-B数字接口(带零位)
真空度:额定真空度为10-8托
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