BJSM气浮导轨直线电机平台

气浮导轨直线电机平台采用高精密气浮导轨作为运动导向，运动系统无摩擦阻尼，大大提高系统运行精度。 系统采用直线电机驱动，高精密光栅尺或激光尺反馈。平台系统整体采用花岗岩结构。系统应用：激光加工，精密微纳加工、精密测试测量，液晶面板加工、检测，Wafer加工检测等。

技术指标：

• XY轴设计行程500*500mm
• 平台的重复定位精度:±0.1-0.5微米，定位精度± 1um；
• 运行速度500mm/s
• 加速度2G（无负载情况）
• 精密气浮导轨
• 高精密光栅尺反馈