公司自主研制的0.1微米级精密运动平台及集成控制系统是微电子制造和测试设备的核心部件，也是生物医疗设备和精密制造业发展的关键部件，这些产品在以上领域的应用可以极大提高我国的制造水平，缩小和先进国家的差距。
 

LM25-23龙门式双轴直线电机平台

采用龙门式结构、SM直线电机直接驱动、HN通用伺服驱动器、美国MicroE光栅尺反馈，达到精密驱动，技术指标如下：

设计行程：250X230mm

外形尺寸：450X420X180mm

定位分辨率：5um~0.5um

重复定位精度：10um

Z轴及试验装置安装接口