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运动控制平台

BJSM气浮导轨直线电机平台

文章来源:未知时间:2021-01-07 点击:

BJSM气浮导轨直线电机平台

气浮导轨直线电机平台采用高精密气浮导轨作为运动导向,运动系统无摩擦阻尼,大大提高系统运行精度。 系统采用直线电机驱动,高精密光栅尺或激光尺反馈。平台系统整体采用花岗岩结构。系统应用:激光加工,精密微纳加工、精密测试测量,液晶面板加工、检测,Wafer加工检测等
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详细说明

 


技术指标:

  1. XY轴设计行程500*500mm
  2. 平台的重复定位精度±0.1-0.5微米,定位精度± 1μm
  3. 最大运行速度500mm/s
  4. 系统最大加速度2G(无负载情况)
  5. 精密气浮导轨
  6. 高精密光栅尺反馈
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