北京慧摩森电子系统技术有限公司      电话: 010 - 62311872/0335-8603578

直线运动平台

运动控制平台

BJSM气浮导轨直线电机平台

文章来源:未知时间:2021-01-07 点击:

BJSM气浮导轨直线电机平台

气浮导轨直线电机平台采用高精密气浮导轨作为运动导向，运动系统无摩擦阻尼，大大提高系统运行精度。 系统采用直线电机驱动，高精密光栅尺或激光尺反馈。平台系统整体采用花岗岩结构。系统应用：激光加工，精密微纳加工、精密测试测量，液晶面板加工、检测，Wafer加工检测等
资料下载慧摩森产品综合手册
 
详细说明

 


技术指标：

  1. XY轴设计行程500*500mm
  2. 平台的重复定位精度±0.1-0.5微米，定位精度± 1μm
  3. 最大运行速度500mm/s
  4. 系统最大加速度2G（无负载情况）
  5. 精密气浮导轨
  6. 高精密光栅尺反馈
首页
电话
联系