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精密机床

真空直线电机三轴平台的解决方案

文章来源:未知时间:2019-08-28 点击:


直线电机在现代工业中应用十分的广泛,也是慧摩森十分擅长的领域,不同的客户更会提出不同的需求,
在众多客户需求中,
要求平台整体能够在真空环境中使用,
算是一项非常有意思的挑战


首先说下在真空环境中工作需要注意的有哪些
1、影响散热空气对流和传导这两种一般情况下最主要的散热方式已经无法成立,只能
通过辐射散热,散热效率远远低于有大气的情况。
2、真空放电一些高压元件在真空环境(非绝对真空,指低气压)中更容易发生气体放
电或击穿现象。如果真空度更高还可能发生电晕放电等现象。
3、物质挥发可以想象,部分元器件材料的表面物质(如镀膜等)会在真空中加速挥
4、产生「冷焊」现象在没有空气的情况下,相互接触的材料可能会因为分子间作用力
而自动「粘」在一起。这对步进电机等仪器有相当大的影响。

5、部分依赖空气或气流的设备无法正常工作,比如风扇之类的东西。

考虑到以上
通过公司的技术团队集体讨论
我们做出了一套完善的针对真空环境的
三轴直线电机平台方案
技术指标如下
名称 参数
有效行程 X:750mm ,Y :750mm ,Z:150mm
重复定位精度 X:≤+/-2um;Y:≤+/-2um;Z:≤+/-2um
最大速度 500mm/s
加速度 2m/s2
使用环境 真空度 10-7Torr
   

产品外观示意图



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依托多年的运动控制设计和研发领域的专业经验,
为全国高端设备制造商提供突破性的解决方案,
实现无以伦比的性能、可靠性和便捷性。

 

 

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