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直线运动平台

直线运动平台

真空直线电机平台

慧摩森多轴真空直线电机平台适用于真空度10-8torr的环境，可根据客户要求定制。系统应用：空间技术、生物医疗、粒子物理、核工业、航天航空、材料表面分析、显微技术、半导体制造等

详细说明


BJSM真空直线电机平台
1、可定制轴数：1-5轴
2、单轴有效行程：0-2000mm 
3、重复定位精度：≤+/-2um；定位精度：≤+/-2um
4、速度：1m/s
5、加速度：1G
6、直线度：小于10um
7、使用环境：真空度 10-8 torr  


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